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海杰兴获得晶圆激光加工体系专利大幅度的提升了出产功率和切开质量

来源:10博app官网登录    发布时间:2025-08-06 03:49:11

  金融界2025年7月23日音讯,国家知识产权局信息数据显现,姑苏海杰兴科技股份有限公司获得一项名为“一种晶圆激光加工体系”的专利,授权公告号CN223140733U,请求日期为2024年09月。

  专利摘要显现,本实用新型公开了一种晶圆激光加工体系。开槽设备中,将晶圆涂覆激光切开维护胶后,经过紫外激光器与加工渠道相配合,对晶圆正面金属层切开开槽,开槽后的晶圆经过清洗放回卡夹;隐切设备中,晶圆倒扣在作业载台上,红外激光器与作业载台相配合,红外光穿透透切膜对晶圆进行隐切,晶圆内部在激光经过的途径上构成裂纹;扩膜机中,透切膜扩张将晶圆沿着晶圆内部的裂纹分化构成一颗颗晶粒。本实用新型将正面开槽、反面隐切和扩膜工艺相配合一次加工完结晶圆的切开别离,大幅度的提升了出产功率和切开质量。经过作业载台和超声清洁设备相配合,对晶圆正面进行维护,避免晶圆正面在隐切时损坏。

  天眼查资料显现,姑苏海杰兴科技股份有限公司,成立于2021年,坐落姑苏市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3640万人民币。经过天眼查大数据分析,姑苏海杰兴科技股份有限公司产业线条,此外企业还具有行政许可11个。

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